?。?）平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。

　?。?）主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。

　?。?）大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。

　?。?）應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求，設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。

　?。?）電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。

　?。?）特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與無(wú)塵車(chē)間（區(qū)）分開(kāi)，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開(kāi)的，氣瓶與周?chē)鷺?gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M，儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M。

　?。?）電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間的裝飾材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

　?。?）電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間允許設(shè)空氣吹淋室，這是和一般生物無(wú)塵車(chē)間不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì)，當(dāng)工作人員超過(guò)5人時(shí)，應(yīng)設(shè)旁門(mén)，當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過(guò)時(shí)間，也可設(shè)遂道式吹淋室。

　?。?）對(duì)于高級(jí)別無(wú)塵車(chē)間，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。

　?。?0）電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。

　?。?1）電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間友有對(duì)防微振的特殊要求，在廠地環(huán)境上應(yīng)避開(kāi)振動(dòng)源。

　　（12）電子工業(yè)無(wú)塵車(chē)間除有一般給排水要求外，對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。